MET ONE 3411空气颗粒计数器
MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界领先的 ISO 21501 数据准确性和再现性，是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
核心产品
· 可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
· 热插拔电池-百分百确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
· 测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误
· 顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
· 灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作
· 直观的用户界面
简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！
· 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
专用于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。
· 量测粒径范围6个︰0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 μm
· 光源：氦氖激光器
· 流速：1.0 CFM (28.3 LPM)
· 零计数：ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% UCL
· 电池运作时间：内建双电池插槽,可热抽换式锂电池,操作时间5小时以上
· 数据储存：5,000 个样品， 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
· 数据传输：USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)METONE 3432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
· 符合损失：在 50,000 /ft3 时，为5%，符合ISO 21501-4标准
· 重量：不含电池 15.9公斤,电池 0.66公斤
· 尺寸：33 W x 55.9 D x 22.9 H cm
· 语言：英语，法语，德语，意大利语，西班牙语，韩语*，日语*，中文
· 自动 CDA 清洗连接到CDA之后，清洗电磁阀会被激活
◎专应用于半导体行业的空气颗粒计数：
· 洁净室验证监测
· 洁净室的分级
· ISO14644洁净室验证
· 洁净室颗粒物监测
· 生产过程的连续监测
· 颗粒污染源的排除过程
· HEPA过滤器检漏，粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
· 过滤器扫描
· 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体，流量会自动调整
◎空气颗粒计数器生命科学标准及委员会：
· 国际标准化组织 (ISO)
· ISO14644洁净室及相关受控环境
· ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
· 环境科学与技术研究所 (IEST)
